• 波长范围：400到1100 nm• 光斑尺寸：500μm至5mm• 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm• 基板尺寸：多可至50毫米厚• 测量厚度范围*：20nm〜50μm• 测量时间：快2毫秒 • 精确度*：优于0.5％

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